当前位置: 网站首页 > 仪器介绍

信息来源：暂无发布日期: 2017-12-11 浏览次数:

仪器型号	K-Alpha™+ X 射线光电子能谱仪(XPS) 系统
生产厂家	Thermo Scientific
投入日期	2017年10月
管理人员	王国强
电话
安放地址	材料科学楼5#115
性能参数	分析器——180°双聚焦半球型分析器，配备128 通道检测器。 X 射线源—— Al Ka 微聚焦单色器，可变光斑尺寸（30-400 µm，以 5 µm 为步长）。离子枪—— 能量范围 100-4000 eV。荷电补偿——双束源。样品处理——4 轴样品台、60 x 60 mm 样品区域、20 mm 最大样品厚度。真空系统——2 x 220 L/s 涡轮分子泵，用于进样室和分析室。
仪器主要用途	XPS：固体样品的表面组成分析，化学状态分析，取样讯息深度为～10nm以内. 功能包括: 1. 表面定性与定量分析. 可得到小於10um 空间分辨率的X射线光电子能谱的全谱资讯. 2. 维持10um以下的空间分辨率元素成分包括化学态的深度分析（角分辨方式,,氩离子或团簇离子刻蚀方式） 3. 线扫描或面扫描以得到线或面上的元素或化学态分布. 4. 成像功能。